Глубокое реактивно ионное травление кремния (DRIE) Компания SPTS – мировой лидер в области глубокого травления кремния. База установленного оборудования насчитывает более 1200 установленных реакторов по всему миру. Преимущества SPTS. Запатентованная конструкция реактора с двумя независимыми источниками плазмы и двумя независимыми зонами подачи газов. В результате чего достигается высокая концентрация радикалов и их равномерность распределения. Высокая … Читать далее Глубокое травление DRIE